历史上匈奴族的最高首领称为“撑犁孤涂单于”（字意为“天子广大”，意为称颂首领的权力是神授的，他们应拥有天子的广大辽阔的尊敬及势力），简称为单于，他们的后代中有以“单于”为姓氏的。

在汉朝，匈奴部落频繁与汉朝进行经济，文化，外交上的往来，于此，单于作为姓氏的一种也传入了中原。还有同是汉朝时，左贤王降汉时仍以汉为姓。后来部分单于氏也简化为单氏（同时此姓的发音也随之发生变化，由单chan2于yu2，变为单shan4）。